特許
J-GLOBAL ID：200903095008605250
反射板及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 清孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-077869
公開番号（公開出願番号）：特開平7-270604
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 反射型液晶表示装置に使用される反射板において、反射特性が良好な反射板を再現性よく得る。【構成】 一方の面に多数の微細な凸部2が形成された基板1上に反射層3を被覆して成る反射板10において、前記凸部2は、上層ほどエッチングレートが大きくなるようにエッチングレートの異なる複数の層から成る多層膜20を、同一エッチング液でパターニングして形成し、凸部2の側面と基板面とのなす傾斜角度を微細加工に適したフォトリソ法によるパターニングで決定するように構成する。
請求項（抜粋）：
一方の面に多数の微細な凸部が形成された基板上に反射層を被覆して成る反射板において、前記凸部は、上層ほどエッチングレートが大きくなるようにエッチングレートの異なる複数の層から成る多層膜を、同一エッチング液でパターニングして形成することを特徴とする反射板。
IPC (2件)：
G02B 5/02
, G02F 1/1335 520
