特許
J-GLOBAL ID：200903095009080690
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-108712
公開番号（公開出願番号）：特開平9-275070
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 レチクルの温度を調節することによりレチクルの熱膨張を防止し、アライメント精度を保持することができる露光装置を提供する。【解決手段】 温度調節器22により窒素ガス21の温度を調節し、吹き出し口23aからレチクル6に吹きつける。吹き出し口23aは、レチクル6の片側に対向して形成されている。レチクル6の近傍には、レチクル6と同一の材質で形成された温度観測体25が配設されている。温度センサ26がこの温度観測体25の温度を測定することにより、レチクル6の温度を検出する。制御装置28は、この測定温度に基づき、窒素ガス21の調節温度を決定し、温度調節器22を制御する。
請求項（抜粋）：
光源と被露光体との間の光路中にレチクルを配設しレチクルに形成されたパターンを被露光体に転写する露光装置であって、レチクルに温調媒体を吹きつけることによりレチクルの温度を調節するレチクル温度調節手段を備えたことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L 21/30 516 E
, G03F 9/00 H
, H01L 21/30 502 H
, H01L 21/30 515 F
