特許

J-GLOBAL ID：200903095017137650

基板用カセット

発明者： 下 島 健 次
出願人/特許権者： 日本バルカー工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-022383
公開番号（公開出願番号）：特開平9-216685
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】基板を出し入れする際に、基板が収容溝内に挿入されなかったり、上下に段違いに挿入されてしまうことを防止する。【解決手段】ほぼ水平な状態で挿入される基板の周縁部を保持する突起11を上下に複数個形成した基板受け3、4、5を両側部内周面に所定間隔おきに配置したボックス状のカセット本体1と、このカセット本体1の基板受け3、4、5に形成した突起11の間隔と略同じ間隔で棚板14を上下に複数個形成した少なくとも2個の補助案内具10、10’とを有し、この補助案内具10、10’を着脱自在に装着する。

請求項（抜粋）：

ほぼ水平な状態で挿入される基板の周縁部を保持する突起を上下に複数個形成した基板受けを両側部内周面に所定間隔おきに配置したボックス状のカセット本体と、前記カセット本体に着脱自在に装着され、当該カセット本体の基板受けに形成した隣接する2つの突起の間隔と略同じ間隔で棚板を上下に複数個形成した少なくとも2個の補助案内具とからなることを特徴とする基板用カセット。

IPC (3件)：

B65D 85/86 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B65D 85/38 J ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68 V