特許
J-GLOBAL ID:200903095022640840

圧電センサ及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三澤 正義
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-137613
公開番号(公開出願番号):特開平6-347344
出願日: 1993年06月08日
公開日(公表日): 1994年12月22日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、部品点数が少なく小型化が容易な圧電センサを提供する。【構成】 本発明の圧電センサ1は、各々接合面側に凹部2a,3a及びこの凹部2a,3aに連なる支持段部2b,3bを設けるとともに、前記一方の支持段部2bから一方の端面に設けた一方の電極4に至る導電層6、前記他方の支持段部3bから他方の端面に設けた他方の電極5に至る導電層7を各々形成した接合配置される一対の収容体3,4と、前記一対の収容体3,4内の導電層6,7に両面に設けた電極層11,12を各々接続して封入した圧電素子13とを具備する。これにより、一対の収容体3,4及びその内部に封入した圧電素子13のみにより圧電センサ1を構成でき、部品点数が少なくなって小型化が容易となる。
請求項(抜粋):
各々接合面側に凹部及びこの凹部に連なる支持段部を設けるとともに、前記一方の支持段部から一方の端面に設けた一方の電極に至る導電層、前記他方の支持段部から他方の端面に設けた他方の電極に至る導電層を各々形成した接合配置される一対の収容体と、この一対の収容体内の両導電層に両面に設けた電極層を各々接続して封入した圧電素子とを具備することを特徴とする圧電センサ。
IPC (4件):
G01L 1/16 ,  G01P 15/09 ,  G11B 19/02 ,  G11B 25/04

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