特許
J-GLOBAL ID：200903095023191209
耐熱性感光性重合体組成物及びレリーフパターンの製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002516
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208226
出願日： 1993年01月11日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 ポリイミド前駆体の合成において精製工程が不要であり、現像時間が短い耐熱性感光性重合体組成物を提供する。【構成】 (a)一般式(I)【化1】(式中、R<SB>1</SB>は炭素数2以上の4価の有機基を意味し、R<SB>2</SB>は炭素数2以上の2価の有機基を意味し、R<SB>3</SB>は水素又はアルカリ金属対イオンを意味し、R<SB>4</SB>は化学線に不活性な1価の有機基又は-Si(R<SB>5</SB>)<SB>3</SB>を意味し(R<SB>5</SB>は水素又は1価の有機基を意味する)、m+n=1としてmは0<m<1であり、nは0<n<1である)で表されるポリマ、(b)化学線により、2量化もしくは重合可能な1つもしくは複数の不飽和結合及び1つのアミノ基又はその四級化塩を含む化合物および(c)アジド、増感剤、光開始剤または化学線により2量化もしくは重合可能な1つもしくは複数の不飽和結合を含む化合物を含有してなる耐熱性感光性重合体組成物およびこの組成物を用いたレリーフパターンの製造法。
請求項（抜粋）：
(a)一般式(I)【化1】(式中、R<SB>1</SB>は炭素数2以上の4価の有機基を意味し、R<SB>2</SB>は炭素数2以上の2価の有機基を意味し、R<SB>3</SB>は水素又はアルカリ金属対イオンを意味し、R<SB>4</SB>は化学線に不活性な1価の有機基又は-Si(R<SB>5</SB>)<SB>3</SB>を意味し(R<SB>5</SB>は水素又は1価の有機基を意味する)、m+n=1としてmは0<m<1であり、nは0<n<1である)で表されるポリマ、(b)化学線により、2量化もしくは重合可能な1つもしくは複数の不飽和結合及び1つのアミノ基又はその四級化塩を含む化合物および(c)アジド、増感剤、光開始剤または化学線により2量化もしくは重合可能な1つもしくは複数の不飽和結合を含む化合物を含有してなる耐熱性感光性重合体組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/038 504
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/008
, G03F 7/027
, G03F 7/028
, G03F 7/075 511
