特許
J-GLOBAL ID：200903095026779177
イオンビームによるエッチング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-083857
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273297
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 試料の種類に関係なく、且つ試料に小孔を開けることなく、エッチングし過ぎを回避する。【構成】 収束電子ビーム37を試料11の上面に照射しながら、イオンビーム29を試料11の上面に照射して該上面を徐々にエッチングする。この場合、試料11が透明であるか不透明であるかに関係なく、つまり試料11の種類に関係なく、試料11が厚い場合には収束電子ビーム37が試料11を透過しない。そして、試料11が十分に薄くなった場合には、収束電子ビーム37が試料11を透過し、ファラデーカップ41に到達する。すると、ファラデーカップ41に電子が吸着され、これを電流計42が検出し、この検出信号に基づいてイオンビーム29の照射を停止する。したがって、試料11に小孔を開けることなく、エッチングし過ぎを回避することができる。
請求項（抜粋）：
試料に収束電子ビームを照射しながら前記試料の一の面にイオンビームを照射して該一の面をエッチングし、前記収束電子ビームが前記試料を透過し得る程度に前記試料が薄くなったとき、前記試料を透過した前記収束電子ビームを電子検出器で検出し、該電子検出器から送出される検出信号に基づいて前記イオンビームの照射を停止するようにしたことを特徴とするイオンビームによるエッチング方法。
IPC (2件)：
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