特許

J-GLOBAL ID：200903095029166389

光磁気記録媒体膜形成用複合スパッタリングターゲット

発明者： 畠山 直紀 ,  丹生田 浩志
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-274150
公開番号（公開出願番号）：特開2001-098365
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月10日
要約：

【要約】【課題】長時間スパッタリングしても成分組成のばらつきが少ない光磁気記録媒体膜を形成するため複合ターゲットを提供する。【解決手段】希土類元素含有量が相対的に少ない組成の中央部分1と、希土類元素含有量が相対的に多い組成の周辺部分2とが同心円状に一体的に接合されている複合ターゲットであって、この複合ターゲットの中央部分1の側面は表面から裏面に向かって傾斜して広がっていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

希土類元素含有量が相対的に少ない組成の中央部分と、希土類元素含有量が相対的に多い組成の周辺部分とが同心円状に一体的に接合されている複合ターゲットであって、この複合ターゲットの中央部分の側面は表面から裏面に向かって傾斜して広がっていることを特徴とする光磁気記録媒体膜形成用複合スパッタリングターゲット。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  G11B 11/105 546 ,  H01F 41/18

FI (3件)：

C23C 14/34 A ,  G11B 11/105 546 K ,  H01F 41/18

Fターム (9件)：

4K029BD12 ,  4K029DC04 ,  4K029DC15 ,  5D075FF04 ,  5D075GG03 ,  5E049AA01 ,  5E049AA09 ,  5E049BA23 ,  5E049GC02