特許

J-GLOBAL ID：200903095032910447

基板収納用カセット治具

発明者： 植澤 浩三
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立マイコンシステム
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-097175
公開番号（公開出願番号）：特開平7-307320
出願日： 1994年05月11日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 収納された洗浄工程後の基板4の最下部に集結する洗浄液の滴下による跳ね返りで基板4の表面に洗浄液が再付着するのを防止する基板収納用カセット治具1を提供する。また、基板収納用カセット治具1に収納された洗浄工程後の基板4をIPA蒸気乾燥装置で乾燥させる際、洗浄液の再付着による基板4の表面の水シミ(ウォータマーク)を防止し、基板4の不良を低減する。【構成】 実質的に同一形状の基板4をその板厚の方向に複数枚規則的に配列し収納できる基板収納用カセット治具1において、前記基板4の夫々の収納時に最下部となる領域4Aに接触し、前記基板4が複数枚規則的に配列される配列領域の外側(空き領域2A)に引き出され、かつ、前記複数枚の基板4の夫々と外側に引き出された領域との間に基板4の最下部よりもさらに下側に向う傾斜を有する誘導部材3を設ける。

請求項（抜粋）：

実質的に同一形状の基板をその板厚の方向に複数枚規則的に配列し収納できる基板収納用カセット治具において、前記複数枚規則的に配列される基板の夫々の収納時に最下部となる領域に接触し、前記基板が複数枚規則的に配列される配列領域の外側に引き出され、かつ前記複数枚の基板の夫々と外側に引き出された領域との間に基板の最下部よりもさらに下側に向う傾斜を有する誘導部材を設けたことを特徴とする基板収納用カセット治具。

IPC (6件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 361 ,  B65D 85/86 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68 ,  H05K 3/26