特許
J-GLOBAL ID：200903095043193780
LEPエッチング装置の発光強度観察用ポ-ト
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-235339
公開番号（公開出願番号）：特開平7-066184
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 LEPドライエッチング装置において、観察用ポ-トでのホロ-効果を防止し、低圧力で均一なプラズマを発生させ、かつエッチング終点を確認できるプラズマ発生装置を提供するものである。【構成】 観察用ポ-トを閉塞するための透明体をその内端がチャンバ-内壁とほぼ同一平面上にならぶようにする。観察用ポ-トに余分な空間がないようになるので、ここに高密度プラズマが局在しない。ために一様性の高いエッチングが可能となる。
請求項（抜粋）：
内部を真空に引くことのできる筒型のチャンバと、チャンバの上部において互いに対向するように回転対称の位置に設けられるN枚のLEP電極と、チャンバの底部に設けられエッチングすべき半導体ウエハを戴置する下部電極と、チャンバ内にエッチングガスを導入するためのガス入口と、排出するためのガス出口と、チャンバ内部を覗くための透明体を取り付けた窓を有する観察用ポ-トと、LEP電極に印加すべき高周波電力を発生する第1の高周波電源と、第1の高周波電源の電力を位相が2π/Nだけ異ならせるようにする位相器と、下部電極に高周波を印加すべき第2の高周波電源とを含み、位相が異なる高周波をLEP電極に印加することによりチャンバ内に回転電界を発生させ、回転電界によりガスをプラズマとして、ウエハをエッチングするようにしたLEPドライエッチング装置において、観察用ポ-トの透明体の内面と、チャンバの内面の距離Zが0mm〜10mmであることを特徴とするLEPエッチング装置の発光強度観察用ポ-ト。
IPC (2件)：
前のページに戻る
