特許
J-GLOBAL ID：200903095045437104
イオン注入装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
金本 哲男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-304044
公開番号（公開出願番号）：特開平10-134762
出願日： 1996年10月29日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】 被処理体の載置状態を検出可能なイオン注入装置を提供する。【解決手段】 プラテン部136を挟んでその下方及び上方には、それぞれ発光センサ部142及び受光センサ部144を設ける。また、プラテン部136には、貫通孔137を設けるとともに、貫通孔137の斜面136b側には、発光用レンズ部164、第3光伝達手段166及び受光用レンズ部162を順次接続する。そして、プラテン部136が載置位置にある場合には、載置状態検出器156から発せられる光が、第1光伝達部材148、発光センサ部142、受光用レンズ部162、第3光伝達手段166、発光用レンズ部164、貫通孔137、受光センサ部144及び第2光伝達手段154を介して、再び載置状態検出器156に伝達される構成となっている。そして、ウェハWが載置面136aの所定の載置位置に載置される時のみ、貫通孔137と受光センサ部144との間の光の経路が遮断される構成のため、この光の状態からウェハWの載置状態を検知することができる。
請求項（抜粋）：
被処理体の載置面が略水平位置から略垂直位置に回転可能なプラテンをターゲットチャンバ内に設け、上記略水平位置から回転させて上記略垂直位置にしたプラテン上の被処理体にイオンビームを照射しイオンを注入するイオン注入装置において:上記略水平にした上記載置面と実質的に直交する光軸上に発光受光のセンサを上記ターゲットチャンバ内壁の略対向面にそれぞれ設け、発光側の光を受光側で感知する検知手段と;上記プラテンの上記載置面が略水平で上記センサ間に位置した時、上記載置面と裏面間をセンサの光軸線が通過する孔を設けたプラテン手段と;上記プラテンの上記載置面を略垂直にして、上記被処理体を被処理体面と略平行に実質的に上下させ上記イオンビームを照射する時、この上下移動量は実質的に上記被処理体外周を越えた移動量で実質的に上下させる上下移動手段と;上記プラテンの上記載置面が略水平の時に、上記センサの光軸線が遮断されると、上記被処理体が上記載置面に載置されていたと判断する判断手段と;上記センサと上記略水平位置にある上記載置面との間の距離が上記被処理体の外周より実質的に大きくするようにしたことを特徴とする、イオン注入装置。
IPC (3件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01L 21/265
H01J 37/317 B
, C23C 14/48 Z
, H01L 21/265 T
, H01L 21/265 603 D
