特許

J-GLOBAL ID：200903095045593190

現像液調合装置及び現像液調合方法

発明者： 田口 敏 ,  末次 益実 ,  長瀬 勉 ,  中川 則一
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-347645
公開番号（公開出願番号）：特開平6-190256
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月12日
要約：

【要約】【構成】 現像原液と純水を混合することにより所定濃度の現像成分を含有する現像液を得る現像液調合装置であって、現像原液及び純水を受け入れて混合する手段を具備した混合槽と、該混合槽内の液に含有される現像成分の濃度を測定する超音波濃度計と、該超音波濃度計からの出力信号により現像原液及び/又は純水の混合槽への供給流量を調節する流量調節手段と、所定濃度の現像成分を含有する混合槽内の現像液を受け入れて貯留する貯槽を備えた現像液調合装置。【効果】 現像液の濃度を所定の値に厳密に調合して維持管理することができ、かつ迅速で省力的な実施が可能である現像液調合装置及び現像液調合方法を提供することができる。

請求項（抜粋）：

現像原液と純水を混合することにより所定濃度の現像成分を含有する現像液を得る現像液調合装置であって、現像原液及び純水を受け入れて混合する手段を具備した混合槽と、該混合槽内の液に含有される現像成分の濃度を測定する超音波濃度計と、該超音波濃度計からの出力信号により現像原液及び/又は純水の混合槽への供給流量を調節する流量調節手段と、所定濃度の現像成分を含有する混合槽内の現像液を受け入れて貯留する貯槽を備えた現像液調合装置。

IPC (6件)：

B01F 3/08 ,  B01F 15/04 ,  G03D 3/06 ,  G03F 7/00 501 ,  G05B 1/00 ,  H01L 21/027