特許

J-GLOBAL ID：200903095048600995

光波長計

発明者： 長島 伸哉
出願人/特許権者： 安藤電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-273423
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089675
出願日： 1995年09月27日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 移動機構を直動させるモータの回転むらや移動機構の精度不良がある場合においても高分解能な光波長計を提供する。【解決手段】 基準光と測定光とを分岐するビームスプリッタ2と、基準光と測定光をビームスプリッタ2に再入力する固定鏡3と移動鏡4と、移動鏡4を光軸方向に移動する線形移動機構5と、基準光,測定光の干渉縞を光電変換する受光器6と、受光器6・7からの波形数を計数するカウント部8・9と、基準縞信号・測定縞信号の振幅値をディジタル変換するAD変換部11・12と、AD変換部11・12の出力値を保管する記憶部13・14と、基準縞信号と測定縞信号より生じる2つの端数を記憶部13に記憶される基準光信号の振幅値と記憶部14に記憶される測定縞信号の振幅値から求め、2つの端数と基準縞信号の波形数と測定縞信号の波形数と基準光信号の光波長から測定光の波長を算出する演算部15とを備える。

請求項（抜粋）：

波長が既知である基準光を出力する基準光源(1) と、前記基準光と波長を測定する測定光とを分岐するビームスプリッタ(2) と、ビームスプリッタ(2) により反射された前記基準光と前記測定光をビームスプリッタ(2) に再入力する固定鏡(3) と、ビームスプリッタ(2) を通過した前記基準光と前記測定光をビームスプリッタ(2) に再入力する移動鏡(4) と、移動ステージとガイドレールで構成され、移動鏡(4) を光軸方向に移動する線形移動機構(5) と、移動鏡(4) の移動により生じる前記基準光の干渉縞を光電変換する受光器(6)と、移動鏡(4) の移動により生じる前記測定光の干渉縞を光電変換する受光器(7)と、受光器(6) からの基準縞信号の波形数を計数するカウント部(8) と、受光器(7) からの測定縞信号の波形数を計数するカウント部(9) と、発振器(10)からの矩形波に同期して前記基準縞信号の振幅値をディジタル変換するAD変換部(11)と、発振器(10)からの矩形波に同期して前記測定縞信号の振幅値をディジタル変換するAD変換部(12)と、AD変換部(11)の出力値を保管する記憶部(13)と、AD変換部(12)の出力値を保管する記憶部(14)と、前記基準縞信号と測定縞信号が非同期であることにより生じる第1の端数および第2の端数を、記憶部(13)に記憶される前記基準光信号の振幅値と記憶部(14)に記憶される前記測定縞信号の振幅値から計算するとともに、前記第1の端数と前記第2の端数と前記基準縞信号の波形数と前記測定縞信号の波形数と前記基準光信号の光波長から測定光の波長を算出する演算部(15)と、前記演算部(15)で算出した測定光の波長を表示する表示部(16)とを備えることを特徴とする光波長計。