特許

J-GLOBAL ID：200903095053541700

ドライプロセス蒸着用Al-Ti合金ターゲット材

発明者： 町田 正弘 ,  山田 保之 ,  田中 裕介 ,  和田 恭典 ,  吉川 一男 ,  内田 博幸 ,  古賀 保行 ,  大西 泰司
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-280860
公開番号（公開出願番号）：特開平8-134635
出願日： 1994年11月15日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】【目的】 安定した放電特性が得られ、効率良く成膜でき、且つ長寿命のAl-Ti合金ターゲット材を提供する。【構成】 ドライプロセス蒸着に用いられるAl-Ti合金ターゲット材であって、相対密度が99.0〜100%であり、且つ表面から底面まで連続する欠陥がないものである。

請求項（抜粋）：

ドライプロセス蒸着に用いられるAl-Ti合金ターゲット材であって、相対密度が99.0〜100%であり、且つ表面から底面まで連続する欠陥がないものであることを特徴とするドライプロセス蒸着用Al-Ti合金ターゲット材。

IPC (4件)：

C23C 14/24 ,  C22C 14/00 ,  C23C 14/32 ,  C23C 14/34

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-268074
  
• 特開平4-009466
  
• 特公平4-075301
  
• 特開平1-104769