圧電振動子の蒸着方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-130921
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298435
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【目的】セラミック基板で構成される圧電振動子の蒸着方法をより簡略化することを目的とする。【構成】複数個の該圧電振動子を構成する一枚のセラミック基板から、圧電振動子を個々に切り離さずに、一枚のセラミック基板に構成される複数個の圧電振動子の状態のままで、該セラミック基板に複数個構成された該圧電振動子の横列あるいは、縦列いずれかの一方向の一列に配置した該圧電振動子を、一列同時に蒸着することで目的を達成した。

請求項（抜粋）：

複数個の圧電振動子を一枚のセラミック基板に構成する圧電振動子の蒸着方法において、複数個の該圧電振動子の該セラミック基板の連続して構成する該圧電振動子の状態で、該セラミック基板上に該圧電素板を搭載した状態の一枚の該セラミック基板のままで、該セラミック基板に複数個構成された該圧電振動子の横列あるいは、縦列いずれかの一方向の一列に配置した該圧電振動子を、蒸着装置の搬送ステージを一方向に移動し該圧電振動子を一列間隔で搬送させ、該圧電振動子を一列同時に蒸着することを特徴する圧電振動子の蒸着方法。

IPC (2件)：

H03H 3/02 , H03H 9/19

FI (3件)：

H03H 3/02 B , H03H 3/02 C , H03H 9/19 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-045364
特開昭59-010015
特開昭63-045364

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