特許
J-GLOBAL ID：200903095072842762
異種流体混合装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
野口 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-286919
公開番号（公開出願番号）：特開平9-122464
出願日： 1995年11月06日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】混合流体の製造部と末端の使用部との間から貯留タンクを排除すると共に、供給流量を広い流量域にわたってアナログ的に且つ高精度に制御し得る流体混合装置を提供する。【解決手段】それぞれが圧力調整弁(7a)により等圧に調整された各一次側流路(5a,5b) から複数に分岐する分岐流路に、各切替え弁(9a-1,9a-2;9b-1,9b-2) を介して予め設定された流量及び差圧の有効範囲を有する複数の絞り手段(8a-1,8a-2;8b-1,8b-2) が接続され、前記絞り手段の設計流量範囲を越える差圧の発生時に、各異種流体毎の対応する絞り手段の作動・停止を同時になして二次側流量を制御すべく、異種流体間で対応する各切替え弁に開閉信号を出力する制御部(2) を備え、前記複数の絞り手段のうち作動状態にある絞り手段はその各絞り手段の流量及び差圧の有効範囲内で、二次側圧力の変動に対応する二次側流量をアナログ的に制御する。
請求項（抜粋）：
複数の異種流体を所定の混合比で混合して末端部に連続的に供給する装置であって、各異種流体の供給源に接続され、それぞれが圧力調整手段により等圧に調整されてなる一次側流路と、各一次側流路から複数に分岐する分岐流路と、異種流体の全分岐流路にそれぞれ切替え弁を介して接続され、それぞれが設定された流量及び差圧の有効範囲を有する複数の絞り手段と、全ての絞り手段の流出路が合流して末端に通じる二次側流路と、前記二次側流路の流体流量の変動に基づき発生する一次側流路と二次側流路との間に配設された前記絞り手段の設計流量範囲を越える差圧の発生時に、各異種流体毎の対応する絞り手段の作動・停止を同時になすことにより二次側流量制御をすべく、異種流体間で対応する各切替え弁に開閉信号を出力する制御部とを備えており、前記複数の絞り手段のうち作動状態にある絞り手段はその各絞り手段の流量及び差圧の有効範囲内では、二次側圧力の変動に対応する二次側流量がアナログ的に制御されることを特徴とする異種流体混合装置。
IPC (3件)：
B01F 3/02
, B01F 3/08
, F15C 1/04
B01F 3/02
, B01F 3/08 Z
, F15C 1/04
