特許
J-GLOBAL ID：200903095073880676
ポジ型フオトレジスト組成物、感光性絶縁膜およびパタ-ン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
祢▲ぎ▼元 邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-217332
公開番号（公開出願番号）：特開平6-043648
出願日： 1992年07月22日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 感度や解像度にすぐれるとともに、硬化後も熱可塑性を示して熱圧着性を有するものとなるポジ型フオトレジスト組成物を提供する。【構成】 樹脂成分として熱可塑性ポリイミドとなりうる種々の分子構造のポリイミド前駆体を用い、これに活性光線の照射で塩基性を呈する化合物を配合して、ポジ型フオトレジスト組成物を構成させる。
請求項（抜粋）：
A)つぎの式(I);〔式中、R1 は4価の芳香族または脂肪族の炭化水素残基、R2 は2価の芳香族または脂肪族の炭化水素残基である〕で示される構造単位を有する熱可塑性ポリイミドとなりうる樹脂成分と、B)活性光線の照射によつて塩基性を呈する化合物とを、含有してなることを特徴とするポジ型フオトレジスト組成物。
IPC (9件)：
G03F 7/039
, C08G 73/10 NTE
, C08K 5/3432
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/004 503
, G03F 7/027 514
, G03F 7/26
, H01L 21/027
, H01L 21/312
H01L 21/30 301 R
, H01L 21/30 361 L
