特許
J-GLOBAL ID：200903095084109254
電気用部材
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227570
公開番号（公開出願番号）：特開平10-183350
出願日： 1988年03月02日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 保護膜として用いて剥離等のない炭素被膜を提供する。【解決手段】 一対の電極12と11との間に被形成面を配置し、例えば高周波供給電力を徐々に変化させることによって、被形成面から連続的にあるいは徐々に硬度を高くする。こうして、得られた炭素または炭素を主成分とする被膜は、被形成面から連続的にあるいは徐々に硬度の高い構造を有しており、被形成面との密着性に優れ、また同時に保護膜として硬度の高い膜となる。
請求項（抜粋）：
摺動により摩擦を生じる電気用部材において、前記電気用部材は炭素または炭素を主成分とする保護被膜を有しており、前記保護被膜はその表面に向かって連続的に硬度が増加し、前記保護被膜の表面はダイヤモンド類似の硬さを有するアモルファス構造であることを特徴とする電気用部材。
IPC (7件)：
C23C 16/26
, C01B 31/02 101
, C01B 31/04 101
, C23C 16/30
, C30B 29/04
, G11B 5/187
, G11B 5/72
C23C 16/26
, C01B 31/02 101 A
, C01B 31/04 101 A
, C23C 16/30
, C30B 29/04 Z
, G11B 5/187 K
, G11B 5/72
