特許
J-GLOBAL ID：200903095085802166
セラミックヒータ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-324765
公開番号（公開出願番号）：特開平8-185956
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【構成】アルミナセラミックスの基体2中にW,Mo等の高融点金属を主成分とする発熱体3を埋設し、該発熱体3に通電するためのリード取出パッド7を前記基体2の表面に備え、このリード取出パッド7上にNiメッキ層9を形成して成るセラミックヒータ1において、上記Niメッキ層9におけるS(硫黄)の含有量を0.1重量%以下とする。【効果】高温雰囲気中でもNiメッキ層9が剥離することなく、ヒータへの導通不良を防止できることから、酸素センサ用等の過酷な条件下でも長期間良好に使用できるセラミックヒータ1を提供できる。
請求項（抜粋）：
アルミナセラミックスの基体中にW,Mo,Re等の高融点金属を主成分とする発熱体を埋設し、該発熱体に通電するためのリード取出パッドを前記基体の表面に備え、このリード取出パッド上にNiメッキ層を形成して成るセラミックヒータにおいて、上記Niメッキ層におけるS(硫黄)の含有量が0.1重量%以下であることを特徴とするセラミックヒータ。
IPC (2件)：
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