特許
J-GLOBAL ID：200903095088435199
固体撮像装置およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹村 壽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058751
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226624
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 画素のセルサイズが微細化しても特性の劣化を起さない安定した固体撮像装置及びその製造方法を提供する。【構成】 この固体撮像装置は、パッシベ-ション膜31の表面が平坦化されている。そして、転送部5の表面に形成されている光遮蔽膜3の上には、光吸収膜32を形成しているで、カラ-フィルタ4の膜を形成するときに用いられる露光工程に使われる露光の光が不必要な反射を起さないので、前記膜の各着色領域41〜43のエッヂの切れが良くなり、横筋や混色が無くなる。
請求項（抜粋）：
半導体基板と、前記半導体基板に形成され、受光部と転送部を有する複数の画素領域と、前記画素領域の転送部上に形成した光遮蔽膜と、前記画素領域と前記光遮蔽膜とを被覆し、表面が平坦化されているパッシベ-ション膜と、前記平坦化されたパッシベ-ション膜の上に形成したカラ-フィルタ又はマイクロレンズを表面に形成したカラ-フィルタとを備えていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L 27/14
, H04N 5/335
, H04N 9/07
