特許
J-GLOBAL ID：200903095090347108
薄膜型光路調節装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-344684
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183810
出願日： 1997年12月15日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：
【要約】【課題】 薄膜型光路調節装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 アクチブマトリックス100、アクチブマトリックス100の上部に互いに並んで形成された第1アクチュエータ215a及び第2アクチュエータ215b、第1及び第2アクチュエータと離隔され直交する方向に形成された支持要素220、第1及び第2アクチュエータ、及び支持要素の上部に形成されたミラー200を含む。ミラー200の面積を拡大し、アクチュエータ210とポスト間のメタルテンションストリップ作用を利用してミラー200のティルティング角度を2倍に増加させることにより、スクリーンの画像のコントラストを向上できる。第1アンカー153a及び第2アンカー153bを中心とする対称的構造より、第1アクチュエータ215a及び第2アクチュエータ215bの構造的が安定化でき、ミラー200の複数個による支持でミラーの水平度が向上できミラーを安定に駆動できる。
請求項（抜粋）：
外部から第1信号を受けて前記第1信号を伝達する電気的な配線及び連結端子が形成されたマトリックスと、(i)前記マトリックスのうち前記連結端子が形成された部分の一側に中央部が取り付けられ第1アンカーをなし両側が前記アクティブマトリックス上に水平に形成された第1支持層と、(ii)前記第1支持層の上部に形成され前記第1信号が供給される第1下部電極と、(iii)前記第1下部電極に対応して形成され、第2信号が供給され第1電場を発生させる第1上部電極と、(iv)前記第1上部電極と前記第1下部電極との間に形成され前記第1電場により変形を起こす第1変形層とを有する第1アクチュエータと、(a)前記アクティブマトリックスのうち前記連結端子が形成された部分の他側に中央部が取り付けられ第2アンカーになり両側が前記アクティブマトリックスの上に水平に形成された第2支持層と、(b)前記第2支持層の上部に形成された第2下部電極、(c)前記第2下部電極に対応して形成され、第2信号が供給され第2電場を発生する第2上部電極と、(d)前記第2上部電極と前記第2下部電極との間に形成され前記第2電場により変形を起こす変形層を有する第2アクチュエータと、前記第1アクチュエータ及び第2アクチュエータと離隔され前記アクティブマトリックス上に形成された支持要素と、前記第1アクチュエータ、第2アクチュエータ及び前記支持要素の上部に形成されたミラーとを有することを特徴とする薄膜型光路調節装置。
IPC (2件)：
G02B 26/08
, G09F 9/30 349
G02B 26/08 E
, G09F 9/30 349 D
