特許
J-GLOBAL ID：200903095106340753
酸化物単結晶ウエハの研磨方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
門多 透
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-045287
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243197
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【構成】 酸化物単結晶ウエハの研磨工程において、保液された多孔質パッドと硬質部材が配された板状体にウエハを貼り付けて研磨を行う。【効果】 ウエハを貼り付けるパッドの変形が硬質部材により抑えられるのでウエハの加工精度が向上し、作業効率が改善される。
請求項（抜粋）：
圧電性酸化物単結晶から切り出したウエハの研磨を行う工程において、保液された多孔質パッドと硬質部材が配されてなる板状体にウエハを貼り付けて研磨することを特徴とする酸化物単結晶ウエハの研磨方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 321
, B24B 7/22
