特許
J-GLOBAL ID：200903095111440162
石英ガラス部材の曲げ加工機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 良和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-130612
公開番号（公開出願番号）：特開平11-322353
出願日： 1998年05月13日
公開日（公表日）： 1999年11月24日
要約：
【要約】【課題】 高精度の曲げ加工が可能で、加工中の熱歪による破損も防止でき、半導体製造用石英ガラス製洗浄槽や各種容器、治具等に適した品質の安定した曲面部材を容易に得る。【解決手段】 石英ガラス部材5を傾斜させて保持する保持部と、複数のノズルを直線状に配列し、石英ガラス部材と一定の角度を設けて設置した上下のラインバーナー2、3、端面ストッパー7、加重アーム6、角度設定ストッパー8を設ける。一定の角度からラインバーナーで火炎を放射することにより、機械自体が火炎のダメージを受けることがなく、屈曲部に溶融むらがなく均一な溶融状態を得ることが、また、端面ストッパー7によって、折り曲げ位置が自由に決められ、曲げ加工を繰り返しても距離のばらつきが小さくなり、加重アーム6を設けることにより、均等に加重をかけて正確に折り曲げることができる。また、角度設定ストッパー8により、所望の角度で折り曲げることができる。
請求項（抜粋）：
石英ガラス部材を傾斜させて保持する保持部と、複数のノズルを直線状に配列したラインバーナーからなる石英ガラス部材の曲げ加工機。
IPC (4件)：
C03B 20/00
, C03B 23/023
, C03B 29/00
, H01L 21/68
C03B 20/00 Z
, C03B 23/023
, C03B 29/00
, H01L 21/68 T
