特許
J-GLOBAL ID：200903095113220712
容量調節可能な物理量検出器及び容量調節可能な物理量検出器の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
荒船 博司
, 荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-167053
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012329
出願日： 2002年06月07日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】より測定精度の高い物理量検出器、およびその製造方法を提供する。【解決手段】弾性部22によって変位自在に支持された可動極板21と、前記可動極板と対面する位置に少なくとも1つの固定極板11、31と、を備え、前記可動極板と前記固定極板とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出する容量調節可能な物理量検出器(例えば、検出部100)に於いて、前記固定極板はガラス基盤1、3に形成され、前記固定極板には、本体部(例えば、本体部極板111)と、前記本体部に接続され、静電容量を調整する調整部(例えば、調整用極板112)と、を設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
弾性部によって変位自在に支持された可動極板と、
前記可動極板と対面する位置に配置された固定極板と、を備え、
前記可動極板と前記固定極板とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出する容量調節可能な物理量検出器において、
前記固定極板は透光材に形成され、
前記固定極板には、本体部と、前記本体部に接続され、静電容量を調整する調整部と、が設けられていることを特徴とする容量調節可能な物理量検出器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
4M112AA01
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA31
, 4M112CA36
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA08
, 4M112DA09
, 4M112DA15
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112EA14
, 4M112EA20
, 4M112FA01
, 4M112FA09
