特許
J-GLOBAL ID：200903095113746862
熱式空気流量計用の測定素子及び熱式空気流量計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005292
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197309
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】流量計測精度に優れた熱式空気流量計用の測定素子を提供する。【解決手段】熱式空気流量計用の測定素子1は、空気流量を計測するための発熱抵抗体3及び温度補償抵抗体4aなどが形成された同じ基板2上の、基板2が他の構成体に支持されたときに伝わる熱によって引き起こされる発熱抵抗体3への影響を表わす代表温度が検出可能な熱伝導経路部位としての発熱抵抗体3と端子電極8の間に、該代表温度を検出する基板温度センサ5を形成したものである。
請求項（抜粋）：
空気流量を計測するための発熱抵抗体が形成された同じ基板上の、前記基板を支持した他の構成体の熱が伝わる熱伝導経路部位に、該熱の前記発熱抵抗体への影響を表わす代表温度を検出する基板温度センサを形成したことを特徴とする熱式空気流量計用の測定素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (2件)
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特開昭61-239119
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特開昭61-239119
審査官引用 (2件)
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特開昭61-239119
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特開昭61-239119
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