圧電型インクジェットヘッドおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213035
公開番号（公開出願番号）：特開平10-034922
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月10日
要約：

【要約】【課題】溝加工の作業性を大幅に向上させながら、加圧室相互の干渉を抑制し、十分な変位が得られる圧電型インクジェットヘッドとその製造方法を提供する。【解決手段】複数のノズル12にそれぞれ連通する複数の加圧室11を、基板10と振動板21との間に形成し、振動板21上に圧電体22を積層することにより、振動板21を屈曲変位させて各加圧室11内のインクを加圧し、インクをノズル12から吐出させる。振動板21上に平板状の圧電体を接着した後、加圧室11の側壁13上の圧電体22に、側壁13の厚みより幅広でかつ振動板21まで達しない深さの溝23を形成することにより、圧電体22を実質的に分離する。溝23は、加圧室11の側壁13の側面と圧電体22の溝側面との距離Gと、圧電体22の溝底部の厚みt3 と振動板21の厚みt2 との和tとの関係が0.5≦G/t≦4となるように形成される。

請求項（抜粋）：

複数のノズルにそれぞれ連通する複数の加圧室を、基板と振動板との間に形成し、振動板上に圧電体を積層することにより、振動板を屈曲変位させて各加圧室内のインクを加圧し、インクをノズルから吐出させる圧電型インクジェットヘッドにおいて、上記圧電体は、上記加圧室の隔壁に対応する部位に、隔壁の厚みより幅広でかつ振動板まで達しない深さの溝を有しており、上記加圧室の隔壁の側面と圧電体の溝側面との距離をG、圧電体の溝底部の厚みt3 と振動板の厚みt2 との和をt(=t3 +t2 )としたとき、0.5≦G/t≦4の関係が成立することを特徴とする圧電型インクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (2件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H

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