特許

J-GLOBAL ID：200903095124050410

光記録媒体の製造方法

発明者： 田代 浩子 ,  出口 浩司
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 磯村 雅俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309534
公開番号（公開出願番号）：特開2001-126324
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 製造時の膜厚および光学的特性の変動を頻繁に評価し、迅速かつ安価に製造プロセスへフィードバックすることにより保護層の光学定数、記録層の膜厚および光学定数などを管理できる光記録媒体の製造方法を提供すること。【解決手段】 所定枚数(例えば、10000枚)ごとにエリプソ評価用基板を挿入し、下部保護層、記録層、上部保護層などを製膜した後(ステップ3〜5)、エリプソメトリ測定などにより誘電体層および/または記録層の膜厚に関するデータ(測定膜厚)を取得し(ステップ11)、予め定められる光学的膜厚に関するデータ(正常膜厚=標準膜厚に許容範囲を加味した膜厚)とを比較することにより以降の誘電体層および/または記録層の製膜条件を変更する(ステップ12〜15)。これにより該誘電体層および/または記録層の膜厚の変動が少ない膜が得られるため、光記録媒体の製造を安定して行なうことが可能になる。

請求項（抜粋）：

少なくとも誘電体層または記録層を有する光記録媒体の製造方法において、測定により該誘電体層および/または記録層の膜厚に関するデータ(測定膜厚という)を取得し、該取得した測定膜厚と予め定められた光学的膜厚に関するデータ(正常膜厚という)とを比較し、該比較の結果に基づいて前記誘電体層および/または記録層の製膜条件を変更することを特徴とする光記録媒体の製造方法。

IPC (7件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/54 ,  G11B 7/24 522 ,  G11B 7/24 534 ,  G11B 7/24 ,  G11B 7/24 535

FI (9件)：

G11B 7/26 531 ,  C23C 14/06 L ,  C23C 14/54 E ,  C23C 14/54 B ,  G11B 7/24 522 A ,  G11B 7/24 534 K ,  G11B 7/24 534 L ,  G11B 7/24 534 M ,  G11B 7/24 535 C

Fターム (17件)：

4K029BA46 ,  4K029BA51 ,  4K029BC06 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC39 ,  4K029EA01 ,  5D029JC05 ,  5D029LA14 ,  5D029LA15 ,  5D029LA17 ,  5D029LC05 ,  5D121AA01 ,  5D121AA04 ,  5D121EE03 ,  5D121EE17 ,  5D121HH12