特許
J-GLOBAL ID：200903095132142447
エッチング穿孔性に優れたFe-Ni系合金シャドウマスク素材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-148499
公開番号（公開出願番号）：特開平9-310158
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：
【要約】【課題】 加工度によらずに{100}集積度を低くできる、電子線透過孔のエッチング穿孔に優れたシャドウマスク素材の提供。【解決手段】 Niを30〜45wt%含有し、残部Fe及び不可避的不純物もしくは随伴元素-但しC:0.10wt%以下、Si:0.30wt%以下、Al:0.30wt%以下、S:0.005wt%以下、P:0.005wt%以下-からなるFe-Ni系合金において、Mnが0.10wt%以下、かつエッチング穿孔直前の結晶粒度が粒度番号で9.0以上であることを特徴とする真円度を含むエッチング穿孔性に優れたシャドウマスク素材。
請求項（抜粋）：
Niを30〜45wt%含有し、残部Fe及び不可避的不純物もしくは随伴元素-但しC:0.10wt%以下、Si:0.30wt%以下、Al:0.30wt%以下、S:0.005wt%以下、P:0.005wt%以下-からなるFe-Ni系合金において、Mnが0.10wt%以下、かつエッチング面の結晶粒度が粒度番号で9.0以上であり、エッチング穿孔性に優れることを特徴とするシャドウマスク素材。
IPC (3件)：
C22C 38/00 302
, C22C 38/08
, H01J 29/07
C22C 38/00 302 Z
, C22C 38/08
, H01J 29/07 Z
