特許

J-GLOBAL ID：200903095132311346

極低温冷凍機

発明者： 種谷 昭一 ,  三浦 和夫
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 津田 直久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-224096
公開番号（公開出願番号）：特開平5-060409
出願日： 1991年09月04日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：

【要約】【目的】真空容器の内外を貫く操作部をもつジュールトムソン弁を廃止して、低コストで信頼性を向上できながら、最終ヒートステージ3の温度調節を良好に行う。【構成】真空容器10の内部における冷却器4の前段にオリフィス等による固定抵抗体5を介装して、冷却器4に供給する冷媒の圧力を下げてその温度を低下させ、真空容器10の外部における高圧配管21に圧力調節弁6を介装して、その調節により固定抵抗体5の入口圧力を変え、冷却器4に供給する冷媒温度を変更して最終ヒートステージ3の温度調節を行う。このように真空容器10の外部のみに操作部をもつ構造として、真空容器10のシール構造を簡易化かつ確実にした。

請求項（抜粋）：

真空容器10の内部に最終ヒートステージ3を冷却する冷却器4を配設したジュールトムソン回路20をもつ極低温冷凍機において、前記真空容器10の内部で、前記ジュールトムソン回路20における前記冷却器4の前段部に、前記冷却器4に供給する冷媒の圧力を下げる固定抵抗体5を介装すると共に、前記真空容器10の外部で、前記ジュールトムソン回路20における高圧配管21に、前記冷却器4に供給する冷媒の圧力を調節する圧力調節弁6を介装したことを特徴とする極低温冷凍機。