特許

J-GLOBAL ID：200903095133601780

電極の製造方法およびその装置

発明者： 清水 俊雄 ,  新村 忠 ,  齋藤 秀一 ,  西村 博司 ,  南山 隆幸
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000723
公開番号（公開出願番号）：特開平6-204563
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 この発明は簡単な構成で能率よく発光素子の電極形成部に電極物質を成膜することができるようにした電極の製造方法およびその装置を提供することにある。【構成】 プラズマ状態に励起された反応性ガスと化学反応して揮発した電極物質である金8を、基板11上にpn接合面が形成された発光素子10の電極形成部に供給して、前記電極物質を前記電極形成部に堆積させることを特徴とする電極の製造方法およびその装置にある。

請求項（抜粋）：

プラズマ状態に励起された反応性ガスと化学反応して揮発した電極物質を、基板上にpn接合面が形成された発光素子の電極形成部に供給して、前記電極物質を前記電極形成部に堆積させることを特徴とする電極の製造方法。