特許
J-GLOBAL ID：200903095162728004
振動検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中畑 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-036139
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234954
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：
【要約】【課題】本発明は従来形の加速度センサーが有するノイズによる外乱を有効に除去すると共に、ケーブル布設工事を排し、且つケーブルにより電磁気的ノイズを拾う悪現象を除去して高信頼の振動検出を可能とする。【解決手段】振動センサーとして振動により厚み方向にベンディングする弾性表面波素子1を用い、このベンディングによる弾性表面波素子1の表面に施された入力側と出力側の電極2,3における電極間隔の拡縮変動に応じて周波数変調動作を惹起させ、この変調周波数信号から上記振動の波形を把握する振動検出方法。
請求項（抜粋）：
振動センサーとして振動により厚み方向にベンディングする弾性表面波素子を用い、このベンディングによる弾性表面波素子の表面に施された入力側電極対と出力側電極対における電極間隔の拡縮変動に応じて周波数変調動作を惹起させ、この変調周波数信号から上記振動の波形を把握することを特徴とする振動検出方法。
Fターム (17件)：
2G064AA05
, 2G064AA11
, 2G064AB01
, 2G064AB02
, 2G064AB09
, 2G064AB19
, 2G064BA02
, 2G064BA05
, 2G064BA08
, 2G064BD18
, 2G064BD43
, 2G064BD47
, 2G064BD76
, 2G064CC17
, 2G064DD09
, 2G064DD12
, 2G064DD32
