特許

J-GLOBAL ID：200903095171460227

研磨用組成物及びそれを用いてなる金属材料の研磨方法

発明者： 上田 和正 ,  竹内 美明
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-054727
公開番号（公開出願番号）：特開2000-248264
出願日： 1999年03月02日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 金属タンタルや窒化タンタル等の金属材料を高い研磨速度で研磨し得る研磨用組成物及び高い研磨速度で金属材料を研磨する方法を提供する。【解決手段】 金属タンタル又は窒化タンタル等の金属材料の研磨方法において、α-アルミナからなる研磨砥粒、過酸化水素からなる酸化剤並びに炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸アンモニウム及び炭酸水素アンモニウムからなる群より選ばれた少なくとも1種である炭酸塩を含有し、残部が水である研磨用組成物を用いる。

請求項（抜粋）：

研磨砥粒、酸化剤及び炭酸塩を含有し、残部が水である研磨用組成物。

IPC (4件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622

FI (4件)：

C09K 3/14 550 D ,  C09K 3/14 550 Z ,  B24B 37/00 H ,  H01L 21/304 622 D

Fターム (6件)：

3C058AA07 ,  3C058CA04 ,  3C058CB03 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA17