特許

J-GLOBAL ID：200903095172948711

硬質炭素膜被覆超硬合金工具およびその製造方法

発明者： 亀岡 誠司 ,  佐藤 俊樹 ,  池田 孜
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (1件)： 植木 久一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-215241
公開番号（公開出願番号）：特開平6-057427
出願日： 1992年08月12日
公開日（公表日）： 1994年03月01日
要約：

【要約】【目的】 超硬合金母材と硬質炭素膜の密着性に優れた硬質炭素膜被覆超硬合金工具、およびその様な工具を製造する為の有用な方法を提供する。【構成】 WC系の超硬合金を工具母材とし、下地層上に気相合成法によって硬質炭素膜を被覆して硬質炭素膜被覆超硬合金工具を製造するに当たり、前記母材表面に金属Wを被覆し、次いで励起した炭素含有ガスを該金属Wに接触させて平均粒径が0.1 μm 以上の多孔質WCを下地層として形成した後、気相合成法を適用して前記多孔質WCの結晶粒径よりも小さい平均粒径の硬質炭素膜で下地層表面を被覆する。

請求項（抜粋）：

WC系の超硬合金を工具母材とし、下地層上に気相合成法によって硬質炭素膜を被覆して硬質炭素膜被覆超硬合金工具を製造するに当たり、前記母材表面に金属Wを被覆し、次いで励起した炭素含有ガスを該金属Wに接触させて平均粒径が0.1 μm 以上の多孔質WCを下地層として形成した後、気相合成法を適用して前記多孔質WCの結晶粒径よりも小さい平均粒径の硬質炭素膜で下地層表面を被覆することを特徴とする硬質炭素膜被覆超硬合金工具の製造方法。

IPC (3件)：

C23C 16/26 ,  C23C 14/18 ,  C23C 16/02