特許

J-GLOBAL ID：200903095178730920

オンチップカラーフィルタ及びこれを用いた固体撮像素子

発明者： 津川 英信
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-354731
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180621
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 分光特性を任意に調節することが可能なオンチップカラーフィルタ及びこれを用いた固体撮像素子を提供する。【解決手段】 屈折率の異なる少なくとも2種以上の膜10A,10Bから成る多層膜を形成して光学フィルタを構成したオンチップカラーフィルタ10を構成する。また、このオンチップカラーフィルタ10を用い、オンチップカラーフィルタ10をレンズ形状に形成した固体撮像素子1を構成する。

請求項（抜粋）：

屈折率の異なる少なくとも2種以上の膜から成る多層膜を形成して光学フィルタを構成することを特徴とするオンチップカラーフィルタ。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 5/28 ,  H01L 27/14

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 5/28 ,  H01L 27/14 D

Fターム (22件)：

2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB07 ,  2H048BB13 ,  2H048BB46 ,  2H048GA01 ,  2H048GA04 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA23 ,  2H048GA30 ,  2H048GA33 ,  2H048GA61 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA40 ,  4M118FA06 ,  4M118GC07 ,  4M118GC08 ,  4M118GC17 ,  4M118GD04