特許

J-GLOBAL ID：200903095185823837

吸着装置

発明者： 角田 夏貴
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 弘一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-242699
公開番号（公開出願番号）：特開2009-072850
出願日： 2007年09月19日
公開日（公表日）： 2009年04月09日
要約：

【課題】吸着台上の被吸着物20を真空吸着して保持する吸着装置1において、凹凸がある被吸着物20でも確実に吸着するとともに、被吸着物20が置かれていない吸着孔19を確実に塞ぐようにする。【解決手段】 前記吸着台は、複数の吸引孔19を配し、近傍に光源14を配し、前記吸着孔19は、それぞれ電磁石5により開閉するバルブ機構8と、近傍にフォトセンサ15を配し、前記被吸着物20による前記光源14からの光の遮断を前記フォトセンサ15により検知して被吸着物20の有無を判定し、被吸着物20が置かれていないと判定したときは、前記電磁石5を駆動してバルブ機構8を塞ぐようにした。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

吸着台上の被吸着物を真空吸着して保持する吸着装置において、 前記吸着台は、複数の吸引孔を配し、近傍に光源を配し、 前記吸着孔は、それぞれ、電磁石により開閉するバルブ機構と、近傍に受光部を配し、 前記被吸着物による前記光源からの光の遮断を前記受光部により検知して被吸着物の有無を判定し、被吸着物がないと判定したときは、前記電磁石を駆動してバルブ機構を塞ぐようにしたことを特徴とする吸着装置。

IPC (1件)：

B25J 15/06

FI (2件)：

B25J15/06 E ,  B25J15/06 B

Fターム (8件)：

3C007FS01 ,  3C007FT13 ,  3C007FU05 ,  3C007KS09 ,  3C007KS30 ,  3C007KV12 ,  3C007KX08 ,  3C007NS12

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第2636730号公報