特許
J-GLOBAL ID：200903095188363594
回折光学素子を有した光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-126336
公開番号（公開出願番号）：特開平10-301026
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 回折光学素子を用いたときの該回折光学素子の変形による光学特性の変化を補正した回折光学素子を有した光学系を得ること。【解決手段】 入射波面を所定の波面に変換する周期的構造を有する回折格子を基板面上に設けた回折光学素子と該回折光学素子を光学系中に配置したときの該回折光学素子の変形後の光学特性の変化を補正する為の補正用光学素子とを有していること。
請求項（抜粋）：
入射波面を所定の波面に変換する周期的構造を有する回折格子を基板面上に設けた回折光学素子と該回折光学素子を光学系中に配置したときの該回折光学素子の変形後の光学特性の変化を補正する為の補正用光学素子とを有していることを特徴とする回折光学素子を有した光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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