特許

J-GLOBAL ID：200903095192401115

多孔性樹脂窓付き研磨パッド

発明者： 小池 尚生 ,  今内 敏夫
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241636
公開番号（公開出願番号）：特開2001-062703
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【課題】 窓部と研磨領域の研磨性能の差が無くなり、研磨の均一性が向上し、また、スクラッチの発生も抑制できる研磨パッド、それを用いた研磨の終点検知方法、およびそれを備えた研磨装置を提供する。【解決手段】 研磨領域及び光透過領域を有するケミカルメカニカル研磨用の研磨パッドにおいて、その光透過領域を透明多孔性樹脂シートにより形成する。

請求項（抜粋）：

研磨領域及び光透過領域を有するケミカルメカニカル研磨用の研磨パッドであって、その光透過領域が透明多孔性樹脂シートから形成されていることを特徴とする研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/00 ,  B24B 37/04

FI (2件)：

B24B 37/00 C ,  B24B 37/04 K

Fターム (8件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC02 ,  3C058BA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17