リソグラフィ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-161172
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320956
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】限定された使用用途において数値パラメータの入力チェック機能を効果的に発揮させる。【解決手段】記憶装置120の所定領域には、露光処理プログラムの実行に必要な各種のパラメータの内の数値パラメータの正当性の判定条件として、第1のモード、第2のモードのいずれかが数値パラメータの各々に対して個別に設定され、更に、各モードの正当性判定における制限範囲を決定する値が設定される。この状態で、数値パラメータのいずれかがキーボード部116Cによって選択され、その値が入力されると、ミニコン106では、設定されたモードに従って設定された制限範囲を基準として入力されたパラメータの正当性を判定する。

請求項（抜粋）：

マスクのいずれかの面に形成されたパターンを投影光学系を通して感光基板上に所定の結像状態で投影し、前記パターン像を所定の露光量で感光基板に露光する投影露光システムと、該投影露光システムの各部の動作を統括的に制御する制御システムとを備えたリソグラフィ装置であって、前記投影露光システムの構成各部の一連の動作手順が予め露光処理プログラムとして記憶された記憶手段と、前記露光処理プログラムの実行に必要な各種のパラメータを選択しそのデータを入力するための入力手段と、前記各種パラメータの内の数値パラメータの正当性の判定条件として、予め前記制御システム内で設定された設定値を中心とするある幅の範囲を制限範囲とする第1のモードと、絶対的な幅の範囲を制限範囲とする第2のモードとのいずれかを数値パラメータの各々に対して個別に設定可能な判定条件指定手段と、前記モードが設定された各数値パラメータの各々に対してそのモードの制限範囲を予め設定可能な制限範囲設定手段と、前記入力手段によってパラメータが選択され、そのデータが入力される毎に、前記判定条件指定手段に設定されたモードに従って前記制限範囲設定手段に設定された制限範囲を基準として入力されたデータの正当性を判定する判定手段とを有するリソグラフィ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , B23Q 41/08 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 514 F , B23Q 41/08 B , G03F 7/20 521

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