電流値変化測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-047829
公開番号（公開出願番号）：特開平10-246759
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：

【要約】【課題】半導体集積回路等の試料にレーザを照射したときの電流値変化を高精度で測定可能な電流値変化測定装置を提供する。【解決手段】レーザ発生部1とレーザ走査部2と顕微鏡3により、試料4はレーザビームで走査される。試料4の一端には、測定電流の増幅率を最適設定する可変抵抗手段6を介して第1の電圧源5が直列に接続されている。試料4の他端には、第1の演算増幅器8と帰還抵抗9からなる電流/電圧変換増幅器7が接続され、試料4の電流変化を電圧変化に変換して信号処理部10に伝送し、モニタ11に表示する。一方、第2の演算増幅器13が、第1の演算増幅器8と第2の電圧源14の出力を比較することにより、第1の電圧源5の電圧を設定し、電圧保持手段12により測定中の電圧をこの設定した電圧に保持する。

請求項（抜粋）：

通電した半導体集積回路等の試料にレーザビームを走査しながら照射し、前記照射に伴う前記試料の電流値変化を測定することにより、前記試料の欠陥箇所を検査する電流値変化測定装置において、前記試料と直列に接続され、レーザビームを照射しない場合の前記試料との直列回路の全抵抗値が所定の抵抗値以上となるよう前記直列回路の全抵抗値を調整する可変抵抗手段と、レーザビーム照射前に前記試料を流れる電流が所定の電流値となるよう前記試料へ印加する電圧値を設定し、レーザビームを走査して測定する間、前記試料に印加する電圧を設定した前記電圧値に保持する電圧保持手段と、を備えていることを特徴とする電流値変化測定装置。

IPC (3件)：

G01R 31/302 , G01N 27/00 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/28 L , G01N 27/00 Z , H01L 21/66 C

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