ブールトラジェクトリソリッドサーフェス移動方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：谷義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-120270
公開番号（公開出願番号）：特開平6-028429
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【構成】プロセスステップの処理過程にある対象物、すなわち半導体ウエハの形状の変化をシミュレーションするための方法。ソリッドモデリングシステムは、物質ソリッドを定義したり変形したりするのに用いられる。多数のトラジェクトリソリッドは物質ソリッドを変形するために製作される。物質ソリッドの変形は、物質ソリッドと1以上のトラジェクトリソリッドとの間でのブール演算を実行することによって完成される。【効果】本発明のトラジェクトリソリッドの構成方法は、空間的に不均一なプロセスステップのシミュレーションを可能にし、無効な自己交差サーフェスの製作を省き、不規則なサーフェスとなる小さなエッジやフェースの製作を少なくすることができる。

請求項（抜粋）：

ソリッドの幾何学的表現を変える方法であって、前記表現は多数の頂点ポイント、1以上のエッジおよび1以上のフェースを含み、前記方法は以下のステップを具備することを特徴とするソリッドの幾何学的表現を変える方法。a)ソリッドの前記幾何学的表現の各頂点ポイントに第1幾何学的オブジェクトを作製するステップ、b)該第1幾何学的オブジェクトとソリッドの前記幾何学的表現とから第1変化幾何学的表現を作るステップ、c)ソリッドの前記幾何学的表面の各エッジに対して、当該エッジに沿った中心軸を有する第2幾何学的オブジェクトを作製するステップ、d)該第2幾何学的オブジェクトと前記第1変化幾何学的表現とから第2変化幾何学的表現を作るステップ、e)ソリッドの前記幾何学的表現の各々の前記フェースに対して、当該フェースに平行なフェースを有する第3幾何学的オブジェクトを作るステップおよびf)該第3幾何学的オブジェクトとソリッドの前記第2変化幾何学的表現とから第3変化幾何学的表現を作るステップ。

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