特許
J-GLOBAL ID：200903095207398337
真空チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-196316
公開番号（公開出願番号）：特開2005-032977
出願日： 2003年07月14日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】ごみ等の異物が真空チャックの吸着面と被吸着物の間に介在するのを、より効果的に防止することが可能な真空チャックを提供する。【解決手段】空気の流通抵抗となる環状土手部2はピン状凸部1の平面領域よりも低く加工されており、被吸着物の吸着時において、被吸着物は環状土手部2には基本的には接触しない。この環状土手部2の内側及び外側には、それぞれ環状土手部2に倣って環状に、ピン状サポート凸部4が形成されていると共に、有効外サポートピン凸部3が形成されている。これらピン状サポート凸部4と有効外サポートピン凸部3は被吸着物を吸着した際に、ピン状凸部1と環状土手部2の境界付近で発生しやすい被吸着物の吸着斑を解消するためのものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
吸着面外周に空気をシールするための環状土手部が設けられ、前記環状土手部の内側に、被吸着物に接触して前記被吸着物を保持するための複数のピン状凸部が配列され、前記ピン状凸部の高さが、前記環状土手部の高さ以上とされている真空チャックであって、前記環状土手部の内外周に沿って、前記ピン状凸部とは別のピン状凸部が複数設けられていることを特徴とする真空チャック。
IPC (3件)：
H01L21/68
, B23Q3/08
, H01L21/027
H01L21/68 P
, B23Q3/08 A
, H01L21/30 503C
3C016DA02
, 5F031CA02
, 5F031HA03
, 5F031HA08
, 5F031HA13
, 5F031PA14
, 5F031PA23
, 5F046CC08
, 5F046CC10
, 5F046CC11
