磁気記録媒体の製造法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤盛道夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060265
公開番号（公開出願番号）：特開平7-244831
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】コバルト合金系の垂直磁気異方性薄膜を基板上にスパッタ堆積して成る磁気記録媒体の製造において、スパッタガス圧力を低圧力に、基板温度を低温域にすることによって、上記製造に諸効果をもたらそうとするものである。【構成】コバルトを母相とする合金系材料から成る垂直磁気異方性薄膜を基板上にスパッタ堆積して成る磁気記録媒体の製造において、基板上に結晶配向促進層を設け、スパッタガス圧力を10Pa以上とし、基板温度を室温以上100°Cとして垂直磁気異方性薄膜をスパッタ堆積するものである。

請求項（抜粋）：

コバルトを母相とする合金系材料から成る垂直磁気異方性薄膜を、基板上にスパッタ堆積して成る磁気記録媒体を製造する方法において、前記基板上に予め結晶配向促進層を設け、スパッタガス圧力を10Pa以上として該結晶配向促進層を介して、前記垂直磁気異方性薄膜をスパッタ堆積することを特徴とする磁気記録媒体の製造法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-232613
特開昭64-049126
磁気記録媒体および磁気記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-063057 出願人：株式会社日立製作所

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