照明装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小橋川洋二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-103309
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327554
出願日： 1996年03月30日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【課題】観察対象物の光学特性にバラツキがあっても、簡単な操作で、対象物に応じた最適照明を実現する。【解決手段】照明装置1を、観察部分3a(半導体基板等)の法線に対して凸レンズ11の光軸が角θになるように設置し、その反射光線上にカメラ5を設置する。発光部13がレンズ11の光軸上に位置するとき、明視野照明となる。つまみ29を回転させると、発光部13はボールねじ25上を移動して、照明は明視野照明から暗視野照明へと変わっていく。つまみ37を回転させ、発光部13をレンズ11寄りに移動するとレンズ11からの光は拡散光となり、発光部13を焦点位置にすると平行光となり、レンズ11から離すと集束光になる。このように発光部13の位置を変えることにより、観察部分3aに対する照射角や照射角分布を変化させることができ、対象物3の光学特性に応じて発光部13の位置を調整することにより、コントラストの高い像が得られる。こうした調整はアクチュエータ、マイクロコンピュータ等を用いて自動的に行うようにしてもよい。

請求項（抜粋）：

発光部から光学素子を介して対象物に光を照射する照明装置において、前記発光部を前記光学素子に対して移動させる移動手段を設け、前記対象物に照射される光の照射角を可変にしたことを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

G01N 21/84 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01N 21/84 E , G01N 21/88 E

引用特許：

審査官引用 (44件)

特開昭61-128221
特開昭61-128221
特開昭62-188101

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