特許

J-GLOBAL ID：200903095212323639

露光装置の動きア-ティファクトの補正

発明者： フランク ジェイ.モイジオ
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-279736
公開番号（公開出願番号）：特開2000-112109
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】 フォトフィニッシング装置における画像アーティファクトをなくす。【解決手段】 印刷画像における空間バンディング・アーティファクトを補正する装置及び方法。この装置は、光源と、空間光変調器と、キャリア上の基板を搬送し、空間光変調器がその基板上に画像を形成させることができるようにする搬送装置と、キャリアに取付けられ、その動きを検出する第1のエンコーダ(26)と、搬送装置の駆動回路(34)に取付けられ、駆動回路(34)のオペレーションを検出する第2のエンコーダ(36)と、第1のエンコーダから情報を受信し、空間光変調器のオペレーションを調節する第1の回路(20)と、第2のエンコーダから信号を受信し、基板の動きを調整するように駆動回路のオペレーションを調節する第2の回路(30)とを含み、画像のアーティファクトをなくす。この装置を確証する方法も開示される。

請求項（抜粋）：

改良された制御を備えるフォトフィニッシング装置であって、光源と、前記光源から印刷画像への光を変調する空間光変調器と、キャリアの上の基板を前記空間光変調器を通り過ぎて搬送し、前記基板が前記印刷画像を受信するようにする搬送装置と、前記キャリアに取付けられ、前記キャリアの動きを検出し、画像位置信号を生成することが可能な第1のエンコーダ・センサと、前記搬送装置の駆動回路に取付けられ、前記駆動回路のオペレーションを検出し、モータ制御信号を生成することが可能な第2のエンコーダ・センサと、前記基板の位置と所望の解像度とに基づいて、前記空間光変調器が前記印刷画像を変調するように、前記画像位置信号を受信し、前記空間光変調器のオペレーションを調節することが可能な第1の回路と、前記モータ制御信号を受信し、前記基板の動きを前記印刷画像の前記変調と調整するように前記駆動回路のオペレーションを調節することが可能な第2の回路と、を含むフォトフィニッシング装置。

IPC (4件)：

G03F 1/00 ,  H04N 1/04 ,  H04N 1/23 103 ,  H04N 1/40

FI (4件)：

G03F 1/00 E ,  H04N 1/23 103 Z ,  H04N 1/12 A ,  H04N 1/40 101 Z