特許
J-GLOBAL ID：200903095212764996
研磨方法および研磨装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-220010
公開番号（公開出願番号）：特開平5-057606
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【目的】 形状計測装置との間で被加工物を置き換えることなく加工できる研磨装置を提供する。【構成】 研磨装置30は、定盤31に研磨加工部Pと形状計測部Mとを有し、形状計測部Mで計測した被加工物36の面形状データと設計形状データとの差を除去形状とし、あらかじめ求めた単位除去形状でこの除去形状をデコンボリューションし、滞留時間を求め、Yテーブル32およびXテーブル33を有する研磨加工部Pで研磨加工を行うものである。そして、加工を終えた被加工物36を再び形状計測部Mへ送り、その表面形状を計測し、面形状データを得、また加工部Pへ送るというルーチンを繰り返し、設計形状まで加工、計測を行う修正研磨を行う。
請求項（抜粋）：
被加工物に研磨工具を接触させ、前記研磨工具に加圧、揺動運動を与え、前記研磨工具を定圧手段に保持し、前記定圧手段をアクチュエータを駆動源とする揺動手段によって揺動運動させて研磨加工する研磨方法において、同一定盤上の2箇所位置に研磨加工位置と計測加工位置を設け、前記研磨加工位置に研磨手段を配置し、前記計測位置に計測手段を配置し、被加工物を載置したテーブルを前記研磨加工位置と前記計測位置に移動可能に設け、前記被加工物の前記計測位置への移動を行って前記被加工物の加工面の計測を行い、その後前記被加工物を前記研磨加工位置への設定による研磨加工を行うことを繰り返すことを特徴とする研磨方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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