特許
J-GLOBAL ID：200903095217699327
プロセスの特性推定方法およびその装置ならびにその推定方法を用いたプロセスの監視方法およびプロセスの制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-255225
公開番号（公開出願番号）：特開平6-110504
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】プロセスの特性を推定する際に応答性および追従性を高くしながらも、高い精度でプロセスの特性の推定する。【構成】プロセス1の状態を表す複数種類の状態量x1 〜xp と出力量yをサンプリングして所定期間ごとにサンプリング値に基づく重回帰分析を行う。第1の重回帰分析部4で求めた偏回帰係数のうち統計的に有意でない偏回帰係数については代用の偏回帰係数に置き換える。第2の重回帰分析部8は、代用の偏回帰係数を適用した変量を除いた重回帰分析を行う。第2の検定部9は、第2の重回帰分析部8で求めた偏回帰係数に統計的に有意でない偏回帰係数が含まれなくなるまで、偏回帰係数の置き換えと重回帰分析とを繰り返させる。代用の偏回帰係数と第2の重回帰分析部8で求めた偏回帰係数とを各変量に対応させた重回帰式をプロセス1の特性を表す状態方程式として採用する。
請求項（抜粋）：
プロセスの状態を表す複数種類の変量の測定値をそれぞれ時間的にサンプリングし、計測時点から所定時間前までの区間内の複数回のサンプリングによって得た変量の測定値の組を用いて重回帰分析を行う第1過程と、第1過程での重回帰分析によって求めた偏回帰係数に統計的に有意ではないものがあるときに、統計的に有意ではない偏回帰係数に対応する少なくとも1つの変量については既定の偏回帰係数に基づいて求めた代用の偏回帰係数を適用し、代用の偏回帰係数と対応する変量の測定値との積を基準変数となる変量の値から減算して中間の基準変数とし、中間の基準変数を基準変数として残りの変量の測定値の組による重回帰分析を行う第2過程と、第2過程での重回帰分析によって求めたすべての偏回帰係数が統計的に有意になるまで第2過程を繰り返す第3過程と、第3過程ですべての偏回帰係数が統計的に有意になると第2過程で適用した代用の偏回帰係数と第3過程で求めた偏回帰係数とを各変量に対する偏回帰係数とした重回帰式を状態方程式としてプロセスの特性を推定する第4過程とから成ることを特徴とするプロセスの特性推定方法。
IPC (3件)：
G05B 13/02
, G05B 21/02
, G05B 23/02
