特許

J-GLOBAL ID：200903095218454069

金属酸化物修飾したメソポーラスSiO2薄膜を用いて、SPV(表面光電圧法)NOxガスセンサーの感度と選択性の改善

発明者： 周 豪慎 ,  本間 格
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-257311
公開番号（公開出願番号）：特開2004-093469
出願日： 2002年09月03日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】新しい金属酸化物修飾したメソポーラスSiO2薄膜を開発し、それを活用して、より高い機能を有するNOXセンサーを提供する。【解決手段】アルキルアンモニウム界面活性剤、オルトケイ酸テトラアルキル、金属塩をアルコール中で混合し、酸性物質を用いて低pHに調整しながら加水分解を行うことによりゾル溶液とし、基板にゾル溶液を滴下し、基板を高速回転させ、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより基板上に形成した三次元構造を有する有機無機複合MXOy/SiO2薄膜を得、次いで薄膜を燒結することにより得られた金属酸化物修飾したメソポーラスSiO2薄膜及びこれを用いたNOXセンサー。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

アルキルアンモニウム界面活性剤、オルトケイ酸テトラアルキル、金属塩をアルコール中で混合し、酸性物質を用いて低pHに調整しながら加水分解を行うことによりゾル溶液とし、基板にゾル溶液を滴下し、基板を高速回転させ、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより基板上に形成した三次元構造を有する有機無機複合MXOy/SiO2薄膜を得、次いで薄膜を燒結することにより得られた金属酸化物修飾したメソポーラスSiO2薄膜。

IPC (3件)：

G01N27/416 ,  C01B37/02 ,  G01N31/00

FI (4件)：

G01N27/46 U ,  C01B37/02 ,  G01N31/00 H ,  G01N27/46 331

Fターム (31件)：

2G042AA01 ,  2G042BB07 ,  2G042CA01 ,  2G042CB01 ,  2G042DA10 ,  2G042HA07 ,  4G073BA20 ,  4G073BA25 ,  4G073BA30 ,  4G073BA32 ,  4G073BA49 ,  4G073BA59 ,  4G073BA65 ,  4G073BA81 ,  4G073BA82 ,  4G073BB02 ,  4G073BB03 ,  4G073BB04 ,  4G073BB05 ,  4G073BB06 ,  4G073BB24 ,  4G073BB48 ,  4G073BB58 ,  4G073BB65 ,  4G073CZ54 ,  4G073FB42 ,  4G073FC23 ,  4G073FD13 ,  4G073FD15 ,  4G073FD21 ,  4G073FD23