特許
J-GLOBAL ID：200903095223664772
表面プラズモン共鳴センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-063653
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262586
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：
【要約】【課題】 従来のこの種の表面プラズモン共鳴センサは、測定時に光源、分光器などを必要とし、相対的に大型化、高価格化すると共に、測定にも専門知識を要し、汎用性、実用性が低い問題点を生じていた。【解決手段】 本発明により、SiまたはGaAs系の半導体基板2に受光素子4と該受光素子4からの信号を処理し制御、分析を行う回路部3とが形成されたIC基板と、該IC基板上にMOCVD法により形成され、青から赤に至り波長の異なる複数のLED素子5と、複数のLED素子5から受光素子4に渡り設けられ、光反応性熱硬化樹脂のホトリソ手段とシリコンオイル中における重力の影響を無効とした雰囲気中での加熱硬化とで形成が行われた導光路9およびセンサ部10とから成る表面プラズモン共鳴センサ1とすることで、外付け機器を不要として課題を解決する。
請求項（抜粋）：
SiまたはGaAs系の半導体基板に受光素子と該受光素子からの信号を処理し制御、分析を行う回路部とが形成されたIC基板と、前記IC基板上にMOCVD法により形成され、青から赤に至り波長の異なる複数のLED素子と、複数の前記LED素子から前記受光素子に渡り設けられ、光反応性熱硬化樹脂のホトリソ手段とシリコンオイル中における重力の影響を無効とする雰囲気中での加熱硬化とで形成が行われた導光路およびセンサ部とから成ることを特徴とする表面プラズモン共鳴センサ。
Fターム (12件)：
2G059AA01
, 2G059BB04
, 2G059EE02
, 2G059EE11
, 2G059EE12
, 2G059GG02
, 2G059GG03
, 2G059HH02
, 2G059HH06
, 2G059JJ12
, 2G059JJ17
, 2G059KK01
