特許

J-GLOBAL ID：200903095227950575

真空蒸着用材料供給装置

発明者： 松田 至康
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 堀田 実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-214461
公開番号（公開出願番号）：特開平8-074039
出願日： 1994年09月08日
公開日（公表日）： 1996年03月19日
要約：

【要約】【目的】 真空蒸着装置内のルツボ内に蒸着材料を連続的に供給でき、幅広の鋼板の幅方向にほぼ均等に材料を供給でき、供給速度が大きく、フレーク状の材料を供給することができる材料供給装置を提供する。【構成】 真空チャンバー11に隣接したパレット収納チャンバー14と、チャンバー11、14を連通した連通ダクト15と、ダクトの中間に設けられダクトた開閉弁16と、チャンバー14内を真空に保持する真空装置17とを備える。チャンバー14にはルツボとほぼ同一の長さを有し内部に材料を収容し下面が下方に開閉可能なパレット18が収納される。更に、パレットを挿入位置Bからダクトを通してルツボ隣接位置Cまでルツボに平行に挿入するパレット挿入装置20と、ルツボ隣接位置Cからパレット開放位置Dまでルツボの幅方向に移動させるパレットスライド装置22とを備える。

請求項（抜粋）：

内部を真空に保持する真空チャンバーと、真空チャンバー内に水平に設置されたルツボと、ルツボ内の材料に電子ビームを照射して材料を蒸発させる電子銃とを備えた真空蒸着装置用の材料供給装置において、前記ルツボの長さ方向に真空チャンバーに隣接して設置されたパレット収納チャンバーと、真空チャンバーとパレット収納チャンバーとを連通しルツボの長さ方向に延びた直線状の連通ダクトと、該連通ダクトの中間に設けられ連通ダクトを気密に開閉する開閉弁と、パレット収納チャンバー内を真空に保持する真空装置とを備え、前記パレット収納チャンバーにはルツボとほぼ同一の長さを有し内部に材料ペレットを収容しかつ下面が下方に開閉可能なパレットが収納され、更に、パレットをパレット収納チャンバー内の挿入位置Bから連通ダクトを通して真空チャンバー内のルツボ隣接位置Cまでルツボに平行に挿入するパレット挿入装置と、パレットをルツボ隣接位置Cからルツボ上方のパレット開放位置Dまでルツボの幅方向に移動させるパレットスライド装置と、を備え、これにより、開閉弁を開いた状態でパレット収納チャンバーから連通ダクトを通してルツボ隣接位置Cまでパレットをルツボに平行に挿入し、次いでパレット開放位置Dまで幅方向に移動させ、パレットの下面を開いて内部の材料ペレットをルツボ内に落下させ、開閉弁を閉じた状態でパレット収納チャンバーを大気解放して内部のパレットに材料ペレットを補給する、ことを特徴とする真空蒸着用材料供給装置。