特許
J-GLOBAL ID：200903095233451386
部分被膜の形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-239707
公開番号（公開出願番号）：特開平5-078818
出願日： 1991年09月19日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：
【要約】【目的】作業性、生産性、および品質を大幅に向上させ、多層膜の成膜を容易にする。【構成】大気中で金属条18と有機物のマスキング条1を剥離性のよく接着剤で密着させる。金属条18とテープ1は長さ方向での位置合せは不要で、任意の位置で密着できる。密着後、一次排気・予熱室10へ送り込み、加熱してイオンボンバード処理により蒸着部のクリーニングを行う。その後、両条18、1は第一蒸着室11で第1層目の蒸着金属14が真空蒸着により、第二蒸着室で第2層目の蒸着金属15がイオンプレーティングにより形成される。第1層目、第2層目は共に、マスキング条1に形成した被膜用開口部2および位置決め開口部3を介して金属条18に部分的に形成される。蒸着膜形成後、冷却室13で常温まで冷却された後、再び大気中に取り出され、金属条18とマスキング条1とに剥離され、それぞれ金属条巻取リール6とマスキング条巻取リール7に巻き取られる。
請求項（抜粋）：
部分的に被膜を形成すべき金属条と、金属条に部分的被膜を形成させるための被膜用開口部、および被膜による部分的被膜の位置決め用マークを形成するための位置決め用開口部を有する非金属製のマスキング条とを備え、前記金属条とマスキング条とを大気中にて密着させつつ気密室へ連続的に送り込み、前記気密室にて金属条の部分的被膜形成部および位置決め用マーク部の洗浄を行った後、前記マスキング条の両開口部を介して部分的被膜および位置決め用マークを金属条に形成し、しかる後に金属条を大気中に取り出すようにしたことを特徴とする部分被膜の形成方法。
IPC (2件)：
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