特許

J-GLOBAL ID：200903095249485558

プローブ及びその製造方法、及びそのプローブを用いた 走査型プローブ顕微鏡

発明者： 沖口 圭子 ,  大澤 日佐雄
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-147475
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054103
出願日： 1996年06月10日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 試料表面の形状と光学的性質との両者の情報を同時に検出しながら、これらの情報を分離して得られるプローブおよびそのプローブを用いた走査型プローブ顕微鏡を得る。【解決手段】 蛍光物質封入部材3と、蛍光物質封入部材3に付着した有機物質と先端に付着した有機物質との反応により蛍光物質封入部材3が接合された探針と、一端に探針が設けられた片持ち梁2と、蛍光物質が励起される波長の光を発する光源5と、蛍光物質封入部材3から発する消滅波が試料に照射された際に、試料4から放射される光を検出する光検出器7と、片持ち梁2の状態を検出し探針と試料との間に生ずる力を検出する力検出手段1、8と、探針と試料4との位置を相対的に変化させる移動手段10、11と、情報を処理する信号処理手段13とを備える。

請求項（抜粋）：

少なくとも表面の一部に抗原または抗体が付着し、最大径が封入された蛍光物質の発する蛍光波長よりも小さい蛍光物質封入部材と、前記蛍光物質封入部材に付着した抗原または抗体と反応する有機物質を先端に付着され、前記抗原または抗体と前記有機物質との抗原抗体反応により前記蛍光物質封入部材が接合された探針と、一端に前記探針が設けられ、かつ他端が固定されており、前記探針に受ける力に応じ撓み量が変化する片持ち梁と、前記蛍光物質が励起される波長の光を発する光源と、前記蛍光物質封入部材から発する消滅波が前記試料に照射された際に、試料から放射される光を検出する光検出器と、前記片持ち梁の状態を検出し、前記探針と前記試料との間に生ずる力を検出する力検出手段と、前記探針と前記試料との位置を相対的に変化させる移動手段と、前記力検出手段からの情報、前記光検出器からの情報または前記移動手段からの情報を処理する信号処理手段とを備え、前記試料の表面形状および前記試料の光学的性質を測定する走査型プローブ顕微鏡

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 H ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z